? 應(yīng)用特點(diǎn)：

? 采用“直線電機(jī)+導(dǎo)軌”的方式，結(jié)合光柵尺反饋，作全閉環(huán)控制的雙軸亞微米級平臺；

? 模塊化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，整體線路集成化；

? 更好的速度穩(wěn)定性；

? 更高的精度；