?氣浮平臺有氣浮直線平臺與氣?。ㄐD(zhuǎn)）轉(zhuǎn)臺兩類。氣浮平臺的核心原理是由空氣軸承結合電控元件構成的精密位移平臺，基于空氣軸承的原理，讓負載板浮在氣浮導軌或氣浮軸承上，實現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運動。

??氣浮平臺的氣浮直線導軌常見的形式有：

??1、重力平衡式氣浮導軌；

??2、閉式氣浮導軌；

??3、永磁預載式氣浮導軌；

??4、真空吸附式氣浮導軌。

??常見的氣浮孔結構為：

??1、小孔節(jié)流結構；

??2、多孔質(zhì)結構。

??氣浮平臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了氣膜剛度時的參數(shù)區(qū)間有著好的性能精度，行程300mm直線度和平面度的誤差在1μm以內(nèi)，氣浮平臺的承載能力也非常的好，在市場上已經(jīng)逐漸得到大家的認可。

??氣浮運動臺作為精密設備，分為直線運動和旋轉(zhuǎn)運動，在使用時注意事項：

??1、機械結構部分：

??1）直線軸或旋轉(zhuǎn)軸需要安裝到一個平面度5μm的平臺基座上。

??2）氣浮臺的供氣氣源要是潔凈的，無水無油固體顆粒小于0.2μm，壓力露點-20℃，三級過濾器定期排水（因地域濕度不同，根據(jù)實際情況檢查，周/月/季檢查），三級過濾器要豎直安裝，定期檢查是否有油水的情況，如有，打開過濾器底部開關排出。

??3）直線軸和轉(zhuǎn)臺負載臺面在3μm以內(nèi)，先用無水乙醇擦拭干凈在安裝工件。

??4）安裝的工件平面度3μm以內(nèi)。

??5）安裝螺釘時，4角固定時要對角線上螺釘，環(huán)形固定時要也對角安裝，先輕微上力，再逐步加力，參考螺釘緊固力矩標準。

??6）轉(zhuǎn)臺先通氣再通電，氣壓在0.5~0.6Mpa，關機時先斷電再斷氣。

??7）直線軸與轉(zhuǎn)軸安裝，先用無水乙醇擦干凈，在安裝螺釘，轉(zhuǎn)接板平面度要在3μm以內(nèi)，安裝方法參考1.5。

??2、電控部分：

??1）轉(zhuǎn)臺開機的時候先通氣再通電，關機時先斷電再斷氣。

??2）氣浮轉(zhuǎn)臺上電前，先判斷一下氣壓是否合適，用手輕輕推動氣浮軸，軸能很平滑的運動并且阻力很小，那么氣浮軸可以上電并上使能使用了；如果推不動或者阻力很大，請勿要使用大的力氣強行去推，此時應該去尋找原因或與廠家聯(lián)系，不可以上電使用。

??3）參考使用說明書，內(nèi)含注意事項。